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專注于氣體輸送設備、化學品輸送設備、沉積設備、刻蝕設備、擴散設備、注入設備、固化設備、定制設備配套服務。
公司擁有完整科學的質量管理體系。擁有完善的流程管理。
本廠以“嚴格的管理,質量與世界同步;精心的制造,創新和領導,追求客戶滿意”為宗旨,為廣大客戶提供優質服務。
PRODUCT
晶圓尺寸:300mm(兼容200mm)沉積均勻性:±1%(片內,3σ),±2%(片間)沉積速率:SiO?約500-1000?/min,Si?N?約200-500?/min膜厚控制精度:±0.5%(50?-5μm范圍···
設備尺寸:約4.5m × 3.8m × 2.5m(含維護空間)功耗:約45kW(滿載運行)真空度:沉積腔室<1×10?? Torr(極限真空)氣體需求:TiCl?(純度99.999%)、NH?、N?O、···
高密度等離子體生成:采用中空陰極結構與磁場增強設計,等離子體密度達1012 ions/cm3,較傳統PVD源提高4倍,顯著改善薄膜致密度和臺階覆蓋性。動態離子能量控制:集成RF···
四分區RF源系統:13.56MHz射頻電源(功率0-3000W),通過獨立控制四個區域的功率分布,實現晶圓面內刻蝕均勻性<±3%(1σ)動態匹配網絡:實時調節阻抗匹配,確保等離子···
半導體鈑金工廠全員質量意識培訓的重要性培訓目標與意義在半導體制造領域,設備框架的微米級精度直接決定芯片生產的穩定性與良率。以半導體設備框架為例,±0.05 mm的公差控制不僅影響機械結構的穩定性,更可能導致晶···
1,陽極氧化:在電解液中通電,在工件表面形成氧化膜,提高耐腐蝕性和硬度。2,噴涂:將涂料噴到工件表面,形成保護層,提高耐腐蝕性、耐磨性和絕緣性。3,電鍍:通過電解作用,在工件表面沉積金屬鍍層,改善表面性能。3,化學···
本文探討了半導體機架(設備機架)在前期設計階段需要考慮的關鍵因素。這些因素包括機架的結構設計、材料選擇、標準和法規遵從、尺寸和形狀、熱管理和通風、電氣和接口設計、可維護性和可升級性、成本控制以及生產流程···
本文深度分析上海集成電路產業逆勢增長11.3%背景下,半導體設備鈑金機架的創新機遇與實踐案例。詳細介紹微米級精密制造、定制化系統解決方案及全流程質量管控三大核心優勢在半導體設備機架制造中的應用,涵蓋光刻機、···
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