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涂布方式:旋轉(zhuǎn)涂布(Spin Coating),支持正膠、負(fù)膠及BARC(底部抗反射涂層)膜厚范圍:500?-10μm,涂膠均勻性±3%(片內(nèi),8英寸晶圓)邊緣處理:EBR(Edge Bead Remov···
涂布方式:旋轉(zhuǎn)涂布(Spin Coating),支持正膠、負(fù)膠及BARC(底部抗反射涂層)膜厚均勻性:±10nm(3σ,300mm晶圓,光刻膠厚度1μm)涂布速率:500-6000 rpm可調(diào),加速度···
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